عرض مصطلح معلوماتية
نقش ضوئي | photolithography
تقنيةٌ مستخدَمةٌ في تصنيع الدارات المتكاملة. يُرسَمُ الشكلُ النمطيُّ للدارة ويُصوَّرُ ويقلَّصُ إلى صورةٍ سالبة لها الحجمُ النهائيُّ المطلوب. تُسمّى الصورةُ السلبيةُ القناعَ الضوئيَّ photomask. يمرَّرُ الضوءُ عبر القناع الضوئي ليَسقُطَ على شريحةٍ من المواد نصف الناقلة المطلّية بمادةٍ مقاومةٍ للضوء. يتغيَّر تركيبُ هذه المادة في مكان اصطدام الضوء بالمادة المقاومة. في الخطوة التالية، تُنظَّفُ المادةُ المقاومةُ التي لم تتأثرْ بالضوء. وأخيراً، تعرَّض الموادُ نصف الناقلة لمحلولِ تنظيفٍ يأكل السطحَ غير المحميّ بالمادة المقاومة للضوء، وهذا ما يُنشئُ شكلاً للدارة على سطح الشريحة.
التصنيفات تطوير النظام | System development
انظر أيضاً ممانع ضوئي | photoresist